UNIPOLARE PULSSTROMVERSORGUNGEN DER SERIE MAGPULS UP
Die unipolaren Pulsstromgeneratoren sind modular aufgebaut und bestehen aus einer DC-Leistungseinheit und der eigentlichen Pulseinheit, welche die Spannung mit einer frei einstellbaren Pulsfrequenz auf das Plasmasystem schaltet.
Das hocheffiziente ARC-Management lässt sich für jeden Beschichtungsprozess optimal einstellen, wodurch Schichtdefekte an der zu behandelnden Werkstoffoberfläche wirksam vermieden werden.
Sämtliche Puls- und Leistungsparameterwerte lassen sich über das übersichtliche Grafik-Display einstellen und ablesen. Selbstverständlich können diese Parameterwerte über eine Rechnerschnittstelle oder optional über Profibus über einen externen Rechner gesteuert werden.
EINSATZGEBIETE
EIGENSCHAFTEN UND NUTZEN
MODELLÜBERSICHT
EINSATZGEBIETE:
Die unipolaren Pulsstromgeneratoren der Serie MAGPULS UP sind für anspruchsvolle Plasmaprozesse mit hohem
ARC-Verhalten bestens geeignet. Durch ihren weiten Leistungsbereich liefern sie höchste Leistungen und eignen sich für die folgenden Anwendungen:
• Bias-Versorgung für PE-CVD- und PVD-Prozesse
• Puls-Plasma Nitrieren
• Single Magnetron Sputtern
EIGENSCHAFTEN UND NUTZEN:
Frequenz- und Pulsparameter frei einstellbar -> universeller Einsatz an unterschiedlichen Prozessen mit einem Generator
Schnelle ARC-Erkennung und -Abschaltung -> Vermeidung von Tröpfchenbildung und Oberflächendefekten
Spannungsregelung von 10V bis 1000V -> Höchste Flexibilität bei Bias unterstützte Beschichtungsprozesse mit Plasma-Vorbehandlung durch Plasma-Ätzen oder -Reinigen
Schnelle DSP-Kontrolle -> Hohe Prozessstabilität
MODELLE | MAX. LEISTUNG | PULS-STROM | SPANNUNG | MAX. DC STROM | FREQUENZ |
---|---|---|---|---|---|
MP1-35 | 6kW | 0–35A Pulse | 0–1000V | 10A DC | DC/0.5Hz–100kHz |
MP1-60 | 10kW | 0–60A Pulse | 0–1000V | 20A DC | DC/0.5Hz–100kHz |
MP1-100 | 20kW | 0–100A Pulse | 0–1000V | 40A DC | DC/0.5Hz–100kHz |
MP1-200 | 40kW | 0–200A Pulse | 0–1000V | 80A DC | DC/0.5Hz–100kHz |
MP1-400 | 75kW | 0–400A Pulse | 0–1000V | 150A DC | DC/0.5Hz–75kHz |
Stromversogungen
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