Puls-Plasmageneratoren unipolar MAGPULS UP

UNIPOLARE PULSSTROMVERSORGUNGEN DER SERIE MAGPULS UP

 

Die unipolaren Pulsstromgeneratoren sind modular aufgebaut und bestehen aus einer DC-Leistungseinheit und der eigentlichen Pulseinheit, welche die Spannung mit einer frei einstellbaren Pulsfrequenz auf das Plasmasystem schaltet.

Das hocheffiziente ARC-Management lässt sich für jeden Beschichtungsprozess optimal einstellen, wodurch Schichtdefekte an der zu behandelnden Werkstoffoberfläche wirksam vermieden werden.

 

Sämtliche Puls- und Leistungsparameterwerte lassen sich über das übersichtliche Grafik-Display einstellen und ablesen. Selbstverständlich können diese Parameterwerte über eine Rechnerschnittstelle oder optional über Profibus über einen externen Rechner gesteuert werden.

EINSATZGEBIETE

EIGENSCHAFTEN UND NUTZEN

MODELLÜBERSICHT

EINSATZGEBIETE:

 

Die unipolaren Pulsstromgeneratoren der Serie MAGPULS UP sind für anspruchsvolle Plasmaprozesse mit hohem

ARC-Verhalten bestens geeignet. Durch ihren weiten Leistungsbereich liefern sie höchste Leistungen und eignen sich für die folgenden Anwendungen:

 

• Bias-Versorgung für PE-CVD- und PVD-Prozesse

• Puls-Plasma Nitrieren

• Single Magnetron Sputtern

EIGENSCHAFTEN UND NUTZEN:

 

Frequenz- und Pulsparameter frei einstellbar -> universeller Einsatz an unterschiedlichen Prozessen mit einem Generator

 

Schnelle ARC-Erkennung und -Abschaltung -> Vermeidung von Tröpfchenbildung und Oberflächendefekten

 

Spannungsregelung von 10V bis 1000V -> Höchste Flexibilität bei Bias unterstützte Beschichtungsprozesse mit Plasma-Vorbehandlung durch Plasma-Ätzen oder -Reinigen

 

Schnelle DSP-Kontrolle -> Hohe Prozessstabilität

MODELLE MAX. LEISTUNG PULS-STROM SPANNUNG MAX. DC STROM FREQUENZ
MP1-35 6kW 0–35A Pulse 0–1000V 10A DC DC/0.5Hz–100kHz
MP1-60 10kW 0–60A Pulse 0–1000V 20A DC DC/0.5Hz–100kHz
MP1-100 20kW 0–100A Pulse 0–1000V 40A DC DC/0.5Hz–100kHz
MP1-200 40kW 0–200A Pulse 0–1000V 80A DC DC/0.5Hz–100kHz
MP1-400 75kW 0–400A Pulse 0–1000V 150A DC DC/0.5Hz–75kHz
MAGPULS

Stromversogungen

Geschätsführer:

Dipl. Ing. Dieter Schorn

Im Unterfeld 19

D-76547 Sinzheim

E-Mail.:

info@magpuls.net

Tel.:

+49 (0)7221 987 850

Fax.:

+49 (0)7221 987 454

© Magpuls Stromversorgungs Systeme GmbH